Назначение
Вакуумметрическая поверочная установка ЭлМетро служит для воспроизведения абсолютного давления в области очень малых давлений и применяется для поверки рабочих вакуумметров в соответствии с МИ 140-89 «Рекомендации. ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки». Имеет стационарное или мобильное исполнение. Комплектация установки согласуется с заказчиком исходя из требуемых задач.
Устройство и принцип работы
Вакуумметрический поверочный стенд включает в себя:
- комплект эталонных вакуумметров, состав которых выбирается в зависимости от требований заказчика;
- систему создания, поддержания, регулирования абсолютного давления;
- персональный компьютер с установленным фирменным программным обеспечением.
Эталонные вакуумметры
Метрологические характеристики установки определяются эталонными вакуумметрами, которые имеют первый или второй разряд.
Система создания, поддержки и регулирования абсолютного давления:
Система создания, поддержки и регулирования абсолютного давления включает в себя:
- вакуумную камеру, к которой подключаются эталонные и поверяемые вакуумметры через специальные порты;
- средства откачки: форвакуумный и турбомолекулярный насосы;
- натекатели и вспомогательные устройства.
Дополнительные рабочие вакуумметры и контроллер управляют и контролируют процесс откачки и величину остаточного давления в вакуумной камере. Вакуумная камера может иметь шарообразную или цилиндрическую форму. На ней установлены стандартные порты для подключения вакуумметров, от 4 до 6 шт.
